清潔度檢測儀利用共焦法的測量原理，即激發光線和被激發而產生的光線在同一平行輻射軌跡上。因此，探頭的靈活位和在線測量都易于實現。基于這種測試原理，對于構成中不含或者含有輕微熒光性原料的零件，清潔度檢測儀都以檢測其清潔度。